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2025年5月14日,中国科学院院士、厦门大学化学化工学院孙世刚教授及高端电子化学品国家工程研究中心(以下简称“工程中心”)团队到访新阳上海市集成电路关键工艺材料重点实验室(以下简称“重点实验室”),双方围绕集成电路材料领域的科研合作、技术攻关及人才培养等议题展开深度交流。本次访问旨在促进跨区域产学研协同创新,助力我国集成电路关键材料技术的自主可控发展。


座谈会上,工程中心副主任刘恩恩系统介绍了工程中心的研发平台,包括在电子电镀相关电子化学品、湿电子化学品的合作研发情况,以及在高端电子化学品的材料、设备、验证以及方法学的系统布局。上海新阳技术中心主任孙红旗汇报了重点实验室研发项目进展、对外合作交流情况。双方就当前我国集成电路关键工艺材料领域的重点材料技术发展趋势、技术卡点和合作研究支撑产业发展等方面展开了建设性探讨。


在实验室主任王溯博士陪同下,孙院士团队实地考察了重点实验室先进研发平台,详细了解了实验室在集成电路制造用电镀、清洗、光刻胶、CMP抛光材料等方向的创新成果。孙院士对重点实验室在产研结合与产业化应用方面取得的成绩表示高度认可,不论是芯片铜互连电镀液和添加剂项目十数年磨一剑的脚踏实地研发与产业化应用,还是光刻胶领域不以短期商业利益为追求的投入研发和创新,都是值得学术界和产业界学习的典范。


王溯博士表示,孙院士团队在材料微观机制研究方面以及计算化学领域的成果为重点实验室的新材料研发提供了重要启示。未来期待双方通过合作,加速实验室研究成果的应用转化,为我国集成电路关键材料技术的自主可控发展注入新动能。



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